1激光平面干涉儀 XQ15-GI 特點和應用方向
2、工作室為大批量生產企業的大鏡面檢測提供了方便。
2激光平面干涉儀 XQ15-GI 產品參數
技術參數:
1、標準平面(A面),工作直徑D1=φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
2、第二標準平面(B面),工作直徑D2=φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
3、準直系統:工作直徑φ146mm,孔徑F/2.8,焦距f=400mm
4、測微目鏡:焦距f=16.7mm;
5、視場角:2W=40?;放大倍數β=15X
6、成像物鏡:D=7,F=16
7、光源規格:ZN18(He-Ne)
8、干涉室尺:φ480*380*285mm