它的工作原理是氧氣(或空氣)通過高頻高壓電場，使氧轉化為臭氧，并及時與水混合，利用臭氧的強氧化作用，殺滅水中的細菌。殺滅細菌效果濃度，可以通過改變進水壓力、氣量、電流等調節來達到。
由于臭氧在水中的氧化還原電位為2.07V，比氯(1.36V)高，所以在臭氧量僅為氯的萬分之一時，滅菌效果比氯及其它藥劑快600～3000倍，數秒內可殺死細菌。
主機采用高濃度臭氧發生器件,為不銹鋼石英介質的發生管：水冷、風冷雙冷技術：優化的氣源處理系統配置：進口電源核心部件，數字控制電源技術，具有穩壓變頻和升壓三大功能：可連續24小時不間斷工作：專用電源和放電管形成匹配：采用電源軟開關技術，效率達95％以上：也可根據用戶要求配制臭氧紫外線雙重消毒裝置（UV-O3）。
